二手 TEGAL Plasmod #9186244 待售
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TEGAL Plasmod是一种先进的蚀刻和灰化设备,可为包括硅和复合半导体在内的各种材料提供卓越的工艺性能。该机设计用于各种质量最高的晶片的快速、精确处理。它使用了一个极先进的真空室,具有多种气体深度和压力,可以有效地进行蚀刻和灰化过程。该系统能够处理直径从2"到8"的各种晶圆。它也可以容纳多达六个晶片在一个单一的批次与统一的定位。Plasmod的自动化和稳定性使其成为蚀刻和灰化要求的绝佳选择。利用TEGAL Plasmod对蚀刻和灰化过程进行了高度控制和精确监控。它具有强大的可编程控制器,可用于对过程进行详细调整。用户可以同时定义蚀刻和灰分过程的时间和流速。控制器还可用于监控压力、温度和气体成分,以确保成品的最高质量。等离子体还使用独特的压力控制单元,以确保所有气体水平在任何给定的时间点都得到适当的维护和控制。用户还可以根据自己的特定需求和需求定制机器。这包括配置诸如气体流量、压力、温度等参数的能力。TEGAL Plasmod也被设计为极易使用和维护。这包括易于清洁的表面,以便快速高效地完成工作。它还具有高级安全功能,可帮助确保在使用工具时不会对用户或环境造成任何伤害或损坏。等离子体蚀刻和灰化资产为蚀刻和灰化需求提供了最高水平的质量、精度和稳定性。该模型非常适合研究和工业环境,能够提供各种材料,并获得完美、精确的结果。
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