二手 TEGAL Plasmod #9186245 待售

TEGAL Plasmod
ID: 9186245
Etcher 5" x 6" deep quartz chamber.
TEGAL Plasmod是一种精密、金属蚀刻和灰化设备,设计用于制造半导体、电子和光学行业的精密金属结构。该系统采用先进的、计算机控制的等离子体技术,从金属部件表面精确去除不需要的材料,并为进一步加工提供干净、平坦和均匀的底座。等离子体具有密封和加热的腔室,其中包含安装在绝缘侧壁上的电阻。高频无线电波从源发送到加热的腔室,在那里与腔室内的物质发生反应,产生高温的"等离子体"。这种等离子体侵蚀金属表面,形成一层细的惰性材料,作为进一步应用的基础。与传统的蚀刻工艺不同,TEGAL Plasmod是高效、均匀、可重复的。Plasmod与广泛的金属一起工作,包括CoCr、AlSi、AlMg、CuNi和NbFe,这意味着它可以被用于精确和快速的工作与广泛的材料类型和厚度。它还提供可变蚀刻速度,以便用户根据组件类型、厚度和材料调整速度。TEGAL Plasmod还具有可选的灰化工艺,可用于清除组件表面的残留材料,使其保持清洁平整。灰化可用于清除残留物,如油和氧化物,而不会损坏部件。Plasmod提供了对蚀刻和灰化过程的出色控制,并允许用户控制速度、功率和时间参数以获得所需的结果。该装置能够以高达每分钟18厘米的速率进行蚀刻和灰化,与传统的蚀刻工艺相比可以显着减少生产时间。此外,TEGAL Plasmod机器还包括一种独特的自我诊断模式,可以检测和报告任何错误,从而确保安全可靠的操作。总体而言,Plasmod为用户提供了一种可靠、高效且可重复的蚀刻或灰化工艺,可用于准确、快速地处理各种材料类型和厚度。它是半导体、电子和光学行业的理想选择。
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