二手 TEL / TOKYO ELECTRON 300T #9194184 待售

TEL/TOKYO ELECTRON 300T是一种为先进设备制造而设计的蚀刻器/asher设备。该系统支持各种工艺工具和化学手段，以实现下一代设备的集成。它使用与工艺兼容的蚀刻器、asher或石刻室，几乎可以在任何环境中连续运行。该单元配备了高度先进的控制和自动化系统，以实现最佳流程配方定制以满足客户需求。TEL 300T的多用途蚀刻工艺允许对薄膜结构进行一系列蚀刻，如中间门蚀刻、深凹槽蚀刻、浅沟槽隔离蚀刻和结间隙蚀刻。它还支持先进的清洁模块与一个集成的酸性条从晶圆完全去除有机材料。这台机器采用了一套特殊的硬件，如魔杖和电源接口，用于用户定义的蚀刻和asher配方。具有自动稳定功能的高级过程控制工具可实现高度精确的蚀刻和灰度操作。TOKYO ELECTRON 300T专为在单个30厘米（12英寸）晶圆处理资产中实现无与伦比的工艺灵活性和鲁棒性而设计。它配有高度可靠的晶圆转移自动转移和近场He （NH3）等离子体灰烬副产品。NH3等离子体发光监视器模块允许精确监测蚀刻/灰度处理条件。此外，先进的过程控制模型自动调整功率和流量曲线，以确保一致和可重复蚀刻过程。该设备可扩展用于超浅结加工，包括口袋和插头蚀刻、BPSG平面化和氢退火。它还能够通过短时热过程形成无氧化物结构。300T与包括Ar、NF3、SF6、CCl2F2、O2和H2在内的多种化学物质兼容,具体取决于工艺。LINX配方库允许在设置和测试时间最短的情况下设置最佳蚀刻和清洁条件。该库还包含有关每一工艺和耐腐蚀性的安全信息。此外,TEM软件包还提供了一个提取功能,可轻松评估关键工艺指标,包括蚀刻深度、各向异性、蚀刻速率、蚀刻性能和关键尺寸均匀性。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON 300T是一个功能强大且可靠的蚀刻和asher系统，设计用于先进的设备制造。它具有广泛的工艺工具、化学方法和自动稳定功能,以确保一致和可重复的蚀刻/粉碎器操作,并实现最佳工艺配方定制。该单元的多功能性也使其适合于当今设备制造中的许多应用。