二手 TEL / TOKYO ELECTRON 305D #293659035 待售

ID: 293659035
晶圆大小: 12"
Etcher, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON 305D是为生产先进半导体器件而设计的高度先进的蚀刻器/asher设备。它提供了一个极其统一和可重复的环境,以确保清洁和可靠的蚀刻和灰化过程。该系统由多炮塔单晶片运输单元、高效蚀刻/灰烬源、真空泵机和计算机控制工具组成。此资产具有最高的效率和最小化的运营成本。其多炮塔单晶片传输模式设计用于同时处理多达八个工艺晶片,整体表面积明显减小。这允许更高效的晶圆传输,减少时间和能源消耗。高性能蚀刻/灰源提供了高效的加工和减少材料浪费。它还旨在减少与粒子有关的问题,并尽量减少污染的可能性。射频等离子体真空发生器保证了整个蚀刻/灰室的稳定压力和均匀的等离子体密度,从而保证了出色的蚀刻和灰化质量。先进的计算机控制设备便于快速、方便的设置、吞吐量监控、自动批处理和表调整以及系统的远程控制。它还包括一个用户友好的图形用户界面,提供一个用户友好的菜单驱动的图形界面和远程显示,以优化蚀刻/灰烬过程。TEL 305D设计用于大批量生产下一代网络(Ngn)设备和微电子电路。它可以提供非常统一和干净的蚀刻/灰烬工艺,提供高可靠性和工艺可扩展性,以满足最苛刻的要求。其先进的特性和稳定的性能使其成为制造这些设备的理想单元。
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