二手 TEL / TOKYO ELECTRON 305DD #9389396 待售

TEL/TOKYO ELECTRON 305DD是一款针对半导体制造行业中大体积工艺需求而设计的蚀刻器/asher。采用高容量连续薄膜传输技术，减少了负载时间，提高了刀具加工晶片的吞吐量。该305DN采用双腔室设计,允许用户在两个进程之间快速切换,而无需停止该工具。该工艺配方可以很容易地更新和传输到机器，确保快速和高效的操作。蚀刻室可容纳400mm半导体晶片，而灰化室可处理多达300 mm晶片。蚀刻过程具有很高的精度和精确度，而灰化过程具有独特的射频等离子体系统，能够控制功率、持续时间和循环时间，提供一致的结果。TEL 305DD还具有最先进的散热技术和其他热管理技术,以确保蚀刻过程的最佳性能和均匀性。为确保安全，该工具有一个集成的安全屏风，可以阻挡危险颗粒的发射。该工具的高级自动化功能使其能够调整物理参数,包括压力、温度、射频功率和速度,以适应工艺应用,从而减少任何产品出现故障的机会。TOKYO ELECTRON 305DD配备了输液泵送模块，为蚀刻室提供稳定的新鲜化学品供应，提高产品寿命，降低维护成本。最后，它还配备了一个监控系统，用户可以实时监控过程参数和生产性能。