二手 TEL / TOKYO ELECTRON 308 SCCM #9128511 待售

TEL / TOKYO ELECTRON 308 SCCM
ID: 9128511
晶圆大小: 12"
Plasma etchers, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON 308 SCCM(以下简称308)是一款最先进的蚀刻器/asher,设计用于对难以到达的区域进行高级蚀刻和清洁。它有一台大型机,配有可选的可变自动聚焦激光扫描设备(VAS)。该系统使用规则和有节奏的振荡激光波扫描要蚀刻或粉刷的区域,确保均匀的深度和均匀的覆盖范围。此外,308还采用了高温排气罩,可确保安全和清洁的工作环境。308真正是一个多合一的单元,内置多气体进料,集成温控单元。308易于使用,仅需几分钟即可完成设置,其中包括易于阅读的多语言用户手册。308允许金属和非金属的蚀刻/灰化,深度从3nm到1.5 μ m不等。308真正引人注目的是它能够创建复杂的3D模式和高宽高比结构。结果是一个令人难以置信的准确和统一的过程,一次又一次.308还配备了多种配件,如自动送粉机、数字光学监控套件、对准和焦点评分机,以及自动取样工具。这允许增加控制和更高程度的吞吐量控制。此外,射频感应加热设备可用于控制蚀刻过程的温度,确保去除的材料数量保持不变。总体而言,TEL 308 SCCM是一种先进的蚀刻/灰化模型,它为难以到达的区域的复杂蚀刻提供了精确、安全和卓越的控制级别。308具有高功率、高温排气罩、可变自动对焦设备以及许多其他功能,是一款用途广泛、用户友好的系统,可提供令人难以置信的精确蚀刻体验。
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