二手 TEL / TOKYO ELECTRON 480 HG #293818880 待售

TEL/TOKYO ELECTRON 480 HG是一种用于多种半导体制造工艺的下一代蚀刻器/asher。它是TEL Limited（TOKYO ELECTRON）的200毫米热蚀刻/asching设备，是先进半导体设备的全球领先者。TEL 480 HG具有先进的TEL/TOKYO ELECTRON技术,如自动晶圆处理和直观的用户界面,可满足大批量制造的需求,并可实现精确的工艺产量-这是半导体制造的一个重要因素。TOKYO ELECTRON 480 HG的先进特性为用户配备了无与伦比的蚀刻和灰化操作控制。该系统配备了模块化单元结构和各种流程模块,用户可以根据其特定流程和应用程序配置该单元。模块化设计为用户提供了选择与所需的机器功能相匹配的模块的灵活性,例如基板预处理、蚀刻、灰化、后处理清洁和冷冻蚀刻。该工具还利用先进的TEL技术优化蚀刻和灰烬操作。这包括高速晶圆自动装载机、热过程温度管理、过程控制和监控技术，以及调整过程参数以优化资产性能的能力。此外，480 HG具有确保室内均匀气体分布的均匀等离子体生成模型，以及用于改进热性能的模块化工厂-空气冷却设备。这些功能结合了一系列软件工具和手动控制设置，使用户能够精确控制过程序列、过程参数以及其他与蚀刻/ashing操作相关的参数。这种灵活性和控制允许用户在蚀刻和灰化操作过程中达到最高级别的性能和精度。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON 480 HG是一种先进的蚀刻器/灰化器，在高度专业化的半导体制造工艺中提供卓越的性能和产率。该系统的模块化设计、先进的TOKYO ELECTRON技术以及精确的控制能力，使其成为广泛蚀刻和灰化操作的理想工具。