二手 TEL / TOKYO ELECTRON 580 LC #62133 待售

ID: 62133
晶圆大小: 6"
RIE etcher, 6".
TEL/TOKYO ELECTRON 580 LC Asher是一种中型设备,用于蚀刻或灰化薄膜或其他薄样品,用于多种工艺。它是一种气源蚀刻器,利用氧气或其他气体蚀刻敏感膜或类似产品。创新系统提供约11升的体积,并设有圆形样品设计。这使得它非常适合各种应用,如纳米印刷品光刻(NIL)和其他薄膜以及图样化应用。该单元采用垂直结构设计,顶盖更薄以增加热循环时间,底盖更厚以支撑更大的机械稳定性。该机还利用了上腔内的高速气流,并在下腔内设计了低压力水平。这种组合为薄膜和其他薄样品的快速蚀刻提供了低压力水平和高速气体环境。蚀刻器/asher配备了一个集成显示器,用于监控和控制蚀刻/粉刷薄膜或类似产品的过程。这包括一个LCD显示屏,该显示屏显示过程的时间相关配置文件,包括压力、温度和电流等详细信息。该工具还与计算机等各种外部设备集成,以便于数据导出和分析。此外,资产还具有一系列安全功能,如警报和LED指示灯,这些功能会提醒操作员与蚀刻过程相关的任何潜在问题。TEL 580 LC Asher是一种用于蚀刻或粉刷各种薄膜或类似产品的可靠且用途广泛的型号。它是一种安全、高效和高精度的设备,可用于多种应用,包括纳米印刷品光刻(NIL)和图样。该系统非常适合实验室和生产环境,是任何需要精确和可靠的项目的绝佳选择。
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