二手 TEL / TOKYO ELECTRON 5K5499 #9148403 待售

TEL/TOKYO ELECTRON 5K5499是一款非常先进的蚀刻器/asher,可为工艺工程师提供经济高效的解决方桉。它具有全自动腔室,最多可容纳两个300 mm/12英寸晶片,用于蚀刻或灰化。该仪器结合了精确的温度控制和广泛的流动选择与潜在的专有PECVD/等离子体源。先进的气体注入技术与先进的硬件和软件相结合，确保了最高程度的工艺一致性。首先,此asher/etcher通过提供增强的精密自动化控制提供了一系列更高的性能。该仪器还能够对最多两个流程进行自动化管理，从而实现最佳效率和更高产量。TEL 5K5499提供了一系列可根据流程工程师的要求定制的流程选项。这些过程包括蚀刻、灰分、CVD和其他各种专业过程。高度自动化的系统包括可编程气体、时间和温度参数。温度范围为100至400°C，最大流量为600 sccm。这种多功能仪器还提供两种操作模式：手动模式和自动模式，用于多个过程的操作。此外,在加工过程中,该仪器保持所需的工艺条件以获得最佳工艺结果。该仪器拥有智能数据管理系统，易于操作界面和过程监控。TOKYO ELECTRON 5K5499由Windows操作系统运行,包括用于显示进程数据的12.1英寸彩色液晶面板。该系统还包括用于交互进程执行和控制的手动独立软件。手动独立软件包括用于监视和管理流程条件的各种功能。5K5499旨在提高工艺效率，最大限度地减少废料损失，并提供工艺稳定性和可重复性。它配备了PECVD（等离子体增强化学气相沉积）源，以确保蚀刻和灰化结果的最高质量。该仪器由专有的用户界面运行，并提供全面的数据管理、过程监控和过程控制功能。由于仪器的高级特性，它提供了可靠和一致的结果，可以满足最先进的工艺工程师的需求。