二手 TEL / TOKYO ELECTRON 8500PE #293759276 待售

TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE是一种为半导体和其他微制造工艺而设计的蚀刻器/asher。它基于类似于ICP-RIE（反应性离子蚀刻）系统中使用的先进ICP（感应耦合等离子体）源，同时利用湿和干洗工艺。TEL 8500PE可用于清洁和蚀刻材料，从硅、石英和多晶硅，到金和铜。它的工作原理是在加工前首先清洁基板，以确保表面清洁和无污染。在清洗过程中，TOKYO ELECTRON 8500PE利用一个添加氧气的氙气流，产生一个具有可编程射频功率的ICP源。这种高电离等离子体可以在更短的时间内以更均匀的材料去除来清洁晶圆。此外,8500PE还具有专用的干蚀刻工艺功能。干蚀刻模式采用与清洁过程相同的ICP源，并增加了一个氯气流，专门针对正在蚀刻的材料类型进行调整。利用这种增强的射频源，TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE能够在多个晶片上保持一致的蚀刻速率和均匀性。TEL 8500PE与TEL Contol软件包集成,使用户能够对各种蚀刻配方进行编程。利用该软件，用户可以控制所有设置，包括工艺时间、气流、ICP参数和晶圆温度。Control软件还允许TOKYO ELECTRON 8500PE连接到局域网（局域网）中的其他设备。这允许在多个8500PEs之间以及外部数据库或其他计算机之间传输数据。8500PE已有十多年的历史，现已广泛用于半导体和微型制造行业，提供了经济可靠的蚀刻和清洗工艺。TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE无论是用于独立系统还是集成在较大的加工机中，仍然是现代微型制造中必不可少的工具。