二手 TEL / TOKYO ELECTRON 8500PE #9113041 待售

TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE是一种蚀刻和等离子体粉碎机，旨在确保在蚀刻过程中的精确控制和精确图样。TEL 8500PE采用三轴CNC运动控制系统,经过专门设计,可提供各种样本量的高质量结果。TOKYO ELECTRON 8500PE使用光刻胶和阳极蚀刻技术相结合，产生阳极氧化蚀刻图样。8500PE支持更大尺寸晶片的精度重复精度高达5 µm,均匀度范围为+/-0.02 mm。即使在最精确的设备和基板上也能提供一致的蚀刻结果。TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE依赖于高频电容耦合、独立分段射频感应或PECVD（等离子体增强化学气相沉积）控制等离子体源功率控制的组合。对于附加的UFD（均匀性和特征密度）控制,TEL 8500PE还能够同时使用偏置和底物偏置资源。TOKYO ELECTRON 8500PE具有极低的粒子载荷，能够达到高达12 CFM（立方英尺/分钟）的排气速率。蚀刻室达到的最低温度约为10°C，为各种基材和应用提供灵活高效的操作。8500PE设计方便，操作安全，具有多种安全特性。TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE除了有真空检视口可供观察外，还可配备远端存取控制台，让使用者远距离监视和调整流程参数。总体而言,TEL 8500PE是精密蚀刻和等离子体灰化工艺的理想选择.其单晶片兼容性、三轴数控运动控制系统以及可变偏置和基板偏置能力提供了真正全面的蚀刻能力。此外,TOKYO ELECTRON 8500 PE增强的安全功能确保了操作过程中的最佳安全性和保护。