二手 TEL / TOKYO ELECTRON 8500PE #9146011 待售

TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE是专门为满足半导体生产市场需求而设计的高性能自动蚀刻器和asher。TEL 8500PE具有单一腔室,是一种多用途的机器,能够同时进行蚀刻和灰化处理,并且能够以较高的吞吐量和较高的精确度进行。TOKYO ELECTRON 8500PE配备了两个气动致动的晶圆盒，可容纳200个200 mm的卡带或150个300 mm的卡带。晶圆盒装入设备室，晶圆再通过集成处理机器人转移到蚀刻或灰化模块。机器人还包含视觉和终端效应器系统，使其能够准确地将晶片往返于蚀刻或灰化模块。然后通过高级控制器系统监视和控制蚀刻和/或灰化过程。该控制器具有易于使用的图形用户界面，可实时监控和控制流程。它还具有多种工艺配方和跟踪功能,使操作员能够快速轻松地设置和维护生产流程。8500PE具有各种蚀刻和灰化工具以及气体,可提供广泛的加工功能。它还配备了先进的废气回收机，通过回收高达99%的工艺气体，减少了对环境的影响。最后，TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE有能力处理多种晶片，如硅、砷化氙等。它还具有多个加热区，允许一定范围的工艺温度，并且可以容纳尺寸高达300毫米的晶片。总体而言，TEL 8500PE是一款强健而强大的自动蚀刻器和asher，专门为半导体生产市场而设计。它具有先进的控制器工具、工艺多功能性和环境友好性，非常适合满足现代半导体生产需求。