二手 TEL / TOKYO ELECTRON 8500PE #9158331 待售

TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE是一种用于半导体芯片制造的蚀刻器/asher。它专为各种应用而设计,包括抗薄、浅沟隔离（STI）、金属电极形成、浅沟接触（STC）和介电蚀刻。TEL 8500PE是一种利用平行电子模拟（PEA）技术的强大蚀刻器/灰化器。这使得它能够产生高蚀刻均匀性，高离子数密度和均匀的等离子体分布横跨基板表面。PEA技术有助于最大程度地减少工艺的不均匀性,并为使用定向和非定向蚀刻的关键蚀刻步骤提供更高的纵横比。TOKYO ELECTRON 8500PE有一个高度灵活的工艺室，它提供了广泛的基材尺寸和形状。此外，内部晶片级可以移动到不同的位置，以提高工艺能力和控制。8500PE能够同时或独立操作多种气体，适合各种不同的蚀刻应用。气流由集成气流系统精确控制。TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE的蚀刻过程控制通过触摸屏用户界面进行管理,该界面用户友好且优化,以便在过程之间快速更改产品。TEL 8500PE还配备了高级控制功能，如实时微调蚀刻条件以及针对不同应用或工艺的不同配方。此外,Etch Data Base还存储用户定义的配方和工艺,以便于召回和简化蚀刻工艺。TOKYO ELECTRON 8500PE具有先进的诊断系统和互锁控制功能,可检测和最小化过程故障,从而确保高过程可靠性。它还具有出色的冷却和压力稳定性,允许更均匀的蚀刻轮廓。总体而言，8500PE是生产各种半导体器件的可靠和高效的蚀刻器/灰化器。TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE具有较高的工艺均匀性、灵活的工艺控制和先进的诊断系统，旨在提供卓越的效果。