二手 TEL / TOKYO ELECTRON 8500PE #9195648 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE是一种高度先进的等离子体蚀刻器,或asher,用于制造半导体器件以及其他研发应用中的高精度工艺。它是一种双室平行板系统,具有等离子体增强反应室,能够实现精确、可重复的蚀刻操作,具有非常高的精度和控制能力。TEL 8500PE采用了先进的数字控制技术,包括内置控制器和交互式图形以及自动超压、温度和压力控制。这样可以精确控制和执行蚀刻器的过程,并确保实现所需的蚀刻性能。TOKYO ELECTRON 8500PE还具有很高的离子能量和功率密度,这有助于确保最佳的蚀刻效果。通过广泛的蚀刻气体、材料,以及使用多层蚀刻面膜的能力,可以实现精确、可重复的蚀刻工艺。8500PE集成了软着陆技术,这有助于提高过程效率,因为它允许在一个周期内执行多个蚀刻过程。此外,TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE还具有对蚀刻过程进行精确、可重复的现场诊断和控制功能,如温度和压力控制以及精确的超压控制。TEL 8500PE模型的机械设计和人体工程学结构使其具有卓越的减振能力,并且该机器的设计能够在任何温度水平上提供最大的效率和精度。此外,TOKYO ELECTRON 8500 PE的闭环数字控制确保了最佳蚀刻性能,同时保持了安全性和易维护性。综上所述,8500PE是生产半导体器件具有卓越精度和精确度的最先进的等离子体蚀刻器。其先进的数字控制技术、高功率密度和软着陆技术使其用途极为广泛、可靠、易于维护。其符合人体工程学的设计不仅使其具有减振功能,而且用户友好且效率极高。
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