二手 TEL / TOKYO ELECTRON AMN-5082 #293653819 待售

ID: 293653819
Chamber for SCCM.
TEL/TOKYO ELECTRON AMN-5082是一款可以提供卓越工艺性能能力的蚀刻器,使其成为需要精密蚀刻服务的制造商的理想选择。该工具专门为满足蚀刻工艺的要求而设计,配备了多种功能,包括简化的搬运设备以及各种基材尺寸和材料。TEL AMN-5082能够蚀刻各种金属和非金属基板,从而实现精密工艺控制和大批量生产。该工具的蚀刻系统包括一个先进的转盘、真空底板、耐燃装置和冷却剂-雾控制。转盘由高精度钢轴承组成,能够产生一致的高质量蚀刻轮廓,而低真空底板则确保了安全可靠的蚀刻工艺。TOKYO ELECTRON AMN-5082还配备了一种抗蚀器,可最大程度地减少底物氧化的发生并防止过度蚀刻的发生。这是通过按指定的间隔将化学剂释放到室内来实现的。这可以根据应用要求进行调整,确保目标蚀刻率随时实现。此外,冷却剂-雾气控制功能确保有效控制冷却温度,有助于防止腐蚀过程中的污染。AMN-5082还提供了处理工具方面的各种好处。利用三轴电机反馈资产,蚀刻器可以自动调整位置,以适应不同的基板和基板尺寸。这在多个基板需要一起蚀刻时特别有用,因为该工具可以轻松调整其运动以确保均匀性。此外,该工具可以编程为自动同步蚀刻过程,以节省时间和减少错误。总体而言,TEL/TOKYO ELECTRON AMN-5082是一种全面的蚀刻器,可在许多不同的材料上提供可靠的蚀刻能力。TEL AMN-5082能够容纳各种基板、自动处理模型以及先进的耐火和冷却剂-雾控制功能,是需要精密蚀刻服务的制造商的有效选择。
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