二手 TEL / TOKYO ELECTRON Certas WING #9240030 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Certas WING是为生产高品质半导体和复合半导体产品而设计的精密asher和蚀刻器。它是一种多功能精密蚀刻器，利用精密清洁的化学蚀刻有选择地从晶圆中去除材料。该设备具有超短的工艺时间，允许用户在不损坏底层结构的情况下，快速、精确地从晶片中移除组件。TEL Certas WING是一个多室工艺室系统，为最高级别的工艺灵活性和可靠性而设计。该装置具有高效、可重复的晶圆清洗循环和精确的气流控制，可在高精度位置均匀蚀刻。WING蚀刻器有一个大的用户可编程的操作区域，允许根据用户的需求优化工艺配方。WING还具有可调、可选的蚀刻速度，允许处理高长宽比材料。WING机还配备了一个整体钝化工具，不需要单独的钝化过程。这种钝化是通过使用低压等离子体完成的，在整个蚀刻晶片周围提供了优越的均匀性。此外,WING还配备了高级组件,如光束发射、四扇区工艺/端点控制和恒定流量端点控制。WING资产高度集成,可以进行高效的数据交换和通信。该模型旨在允许最多四个区域的同时通信，这意味着可以同时监控多个进程。借助实时数据分析的内置计算机确保了过程的一致性和可重复性。简而言之，TOKYO ELECTRON Certas WING是一款高效、精确、可靠的蚀刻器，专为半导体和复合半导体产品的最高生产水平而设计。它具有比许多替代方桉更快的流程时间、高级流程/端点控制功能、高效的钝化设备以及并发的数据交换和通信能力。