二手 TEL / TOKYO ELECTRON Certas #9311001 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Certas是一种用于晶圆加工的蚀刻器/asher。该装置是一种平行板型基板蚀刻器，具有光学精度，用于加工直径达200毫米的晶片。它设计用于各种蚀刻和灰化工艺。TEL Certas旋转级设计用于支持晶片在加工过程中的对称形状,在晶片上提供均匀的应力分布。此级的转速由5 rpm可调至300 rpm。该阶段可支撑重量不超过5公斤的基质。该装置的多板蚀刻/灰室设计为提供有效的等离子体蚀刻和灰化过程，共有六个板。这允许在同一台机器内执行更多种类的进程。该腔室产生的等离子体被有效地输送到晶片表面，提供可靠的蚀刻速率和晶片清洗。TOKYO ELECTRON Certas也被设计为使各种工艺气体能够在其操作中使用。此功能允许设备与标准蚀刻和清洁工艺、光刻蚀刻、介电蚀刻等多种不同的应用一起使用。选择同时使用标准和新颖的工艺气体有助于操作员从晶圆加工中获得最佳结果。设备的控制面板设计为操作员友好，具有易于使用的功能和图形用户界面。这使操作员能够快速准确地为其过程设置参数。设备还具有内置故障检测系统,如果检测到异常情况,该系统会触发警报。这有助于操作员快速识别处理过程中可能出现的任何问题。总之，Certas是一个蚀刻器/asher设计，在晶圆处理提供精度、可靠性和多功能性。该装置具有可调的转速、多板腔以及处理各种工艺气体的能力，适合各种应用。设备的操作友好型控制面板和内置诊断系统使其易于使用,使用户对设备的性能充满信心。