二手 TEL / TOKYO ELECTRON Certas #9375198 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Certas是一种先进的蚀刻/asher仪器，设计用于高精度的通孔光刻和IC装置在洁净室环境中的蚀刻。它是一种全自动的光刻/蚀刻设备，为极高的精度和可靠性而设计。其集成的背面对准特征和最先进的光学器件使其能够进行高度精确的光刻和蚀刻过程，包括微成形、线形、通孔蚀刻和接触孔蚀刻。其先进的微光刻系统确保在IC器件上蚀刻和打印均匀的图样，产量高，质量高。这种最先进的技术引入了精密光刻和蚀刻的新水平，并确保了重复性和准确性，即使对于复杂的设计也是如此。TEL Certas的稳定运行是通过其全自动处理单元来确保的，该单元允许其在极端条件下运行。自动装卸机使洁净室环境不受人工搬运的风险，进一步保证了连续稳定运行。此外,它的过程控制工具是一种自调整功能,可以轻松处理设备设计或过程条件所需的任何调整。TOKYO ELECTRON Certas因其广泛的工艺范围而提供了优越的工艺灵活性。它与i-line和KrF准分子激光器兼容，可以很容易地编程来处理任何一种模式。先进的光学、先进的自动聚焦资产和高精度的伺服运动控制相结合，即使在最复杂的设计中也具有高性能和可重复性的前景。此外，它的软件控制激光点轮廓自动调整，以最佳地发射激光束和精确蚀刻。Certas是一个高度集成、用途广泛的蚀刻/asher模型,它保证了精度、质量、可靠性和稳定性。通过集成集成背面对准、纳米定位设备、高精度光学、自动定心和高级工艺控制协议等高级功能,它提供了无与伦比的蚀刻和光刻性能。