二手 TEL / TOKYO ELECTRON Chamber for SCCM #293821279 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Chamber for SCCM（又名Etcher/asher）是TEL开发的多功能蚀刻和灰化设备。它旨在提供各种基材的精确、精确和均匀的蚀刻。专为满足基材制备和高端光刻加工的严格要求而设计。TEL Chamber for SCCM设有一个集成的高精度蚀刻室模块，由耐用的铝制车身和石英外壳组成。有六个侧面和顶面的热源，可以独立控制，最高温度可达1,000 °C。这确保了基板的均匀和高效的加热和冷却。蚀刻室有两个气体进气口，其处置有氙气、氯气、氧气和氮气，允许各种底物的蚀刻。该系统还有一个先进的定时单元，可以准确地定时蚀刻周期，确保所需材料的完美蚀刻。该机既可进行单片蚀刻，也可进行批量蚀刻，并具有自动校准工具，可连续调整整个蚀刻过程的参数。自动气体清除设备允许蚀刻室在操作过程中保持安全和清洁。该模型还具有高效的多级过滤设备，可确保清洁的蚀刻环境。它还有一个高精度的光强度控制系统，可以编程以匹配各种应用的光环境。使用高强度清洗和干燥装置可以蚀刻较厚的基材。此外，SCCM可以进行不同的加工程序，如化学蚀刻，从而对蚀刻过程进行高效、精确的控制。该机还可用于其他活动，如债券准备和背面清理。总体而言，TOKYO ELECTRON Chamber for SCCM是一种先进的蚀刻和灰化工具，能够高效、精确地蚀刻不同的底物。其集成的蚀刻室，加上先进的定时资产和气体净化模型，为保证任何基材的完美蚀刻提供了最佳工艺。此外，其光强度控制设备、过滤系统和自动气体净化装置有助于减少污染和确保安全的蚀刻环境。