二手 TEL / TOKYO ELECTRON Chamber for SCCM #9204386 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Chamber for SCCM是一款高性能的蚀刻器/asher，设计用于蚀刻和灰化工艺。这种腔室是半导体器件制造的理想选择，特别是在多层制造中，并已被广泛应用。它实现了从简单到复杂的蚀刻/灰分过程的高精度和可重复性的过程控制。TEL Chamber for SCCM提供了多种特点，如其退火和灰化双炉系统，其内置气体系统，提供准确、一致的气体和流量控制。该腔室具有高效的溷合系统，可进行高效的粒子处理，并具有各种根据工艺和应用要求量身定制的功能。该室还包括一个先进的软件套件，可进行全面的过程控制和监测。TOKYO ELECTRON Chamber for SCCM还提供了一些安全功能，如低O2气体浓度传感器和紧急关闭，以确保安全运行。此外，该腔室设计为气密和防漏，能够稳定和可重复的操作。该室还配备了先进的温度控制技术，可在一定范围内进行精确和均匀的操作，使其适合各种材料和配方。它可以通过使用腔室参数优化参数来操作，允许同时使用8个参数。用于SCCM的腔室被用于各种设置和应用，从光掩模和LCD制造到SOI和内存设备制造。该腔室是对任何半导体加工生产线的可靠高效的补充，提供了高的工艺控制精度和可重复性。