二手 TEL / TOKYO ELECTRON Chamber for SCCM #9226603 待售

TEL（TOKYO ELECTRON/TE）TEL/TOKYO ELECTRON Chamber for SCCM（亚临界化学机械抛光）是一种利用化学机械过程在底物上抛光和蚀刻微结构的蚀刻器/asher。这种先进的设备能够以高精度和高质量生产先进的微结构特性。TEL/TOKYO ELECTRON/TE TEL Chamber for SCCM有一个专利工艺，利用化学和机械相互作用在底物上抛光和蚀刻微结构。在这个过程中，目标材料被定位在一个多级旋转板的顶部，基板首先用化学溶液处理一段时间。然后，将基材暴露在高速抛光环境中，在这种环境中，砂浆由压板旋转驱动，并以精确的压力加压。磨料浆中含有金刚石磨料材料，这些材料是由一种剂量机制精确控制的。接着是一个温和的蚀刻过程，利用在两层之间的间隙中形成的软材料的牺牲层。抛光过程完成后，将基材暴露在冲洗步骤中，然后再进行干燥步骤，以除去任何残留物。为保证卓越品质，TEL/TE TOKYO ELECTRON Chamber for SCCM配备了一系列先进功能。其中包括：一个温度和液压控制系统，用于精密调整压板的旋转和压力；用于过程稳定的连续单色监视器；一种先进的基板移动控制控制器；整体气流通道和阀门；控制化学溶液的组成和特性的子系统；以及一个检漏监测装置，以监测蚀刻室的清洁度。此外，TOKYO ELECTRON/TE Chamber for SCCM的设计是为了有效防止尘埃和颗粒的污染，借助差动加压机。TEL/TOKYO ELECTRON/TE TEL/TOKYO ELECTRON Chamber for SCCM凭借其精确高效的工艺控制和先进的特点，提供了可预测和可重复的结果，使其成为生产高精度、高质量微结构特征的理想解决方桉。除了高度可靠和高效之外,此工具还缺乏维护功能,并提供用户友好的操作界面,使其成为小型和大型操作的理想选择。此外,此蚀刻器/asher完全符合适用的国际标准和准则,如SEMI/ESF和ESD保护。