二手 TEL / TOKYO ELECTRON Chamber for Tactras Vigus #9298663 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Chamber for Tactras Vigus（ETCHER/ASHER）是一种最先进的、批次型蚀刻设备。该腔室设计为精确控制蚀刻微结构的尺寸和形状，实现整个工艺温度、气体压力、浴室温度、各种蚀刻气体类型的自动化可遥控。Tactras Vigus腔室适用于：MEMS、晶片、SOI和Si的生产、玻璃蚀刻、CMP和清洁等各种半导体工艺，以及RF等高频电路板的蚀刻。其温度范围为-10至400°C，压力范围为0.1至600毫巴。该腔室还配备了氙气（Ar）、氮气（N2）、二氧化碳（CO2）、氢气（H2）等气体，以方便蚀刻过程。蚀刻系统还配备了先进的特点，如：背面冷却装置、温度均匀机、供气工具、惰性气体资产、气体净化模型，以及预编程配方的预编程配方功能，以满足各种工艺要求。该室经日本工业标准（JIS）认证，符合以下条件：在线污气还原（FGR）*、E-铁氧体氙气FGR、CVD**。它还配备了FGR***再生功能，以减少蚀刻过程中产生的有害气体的数量。此外，该腔室还为不同的气体组合设置了预先编程的设置，以便于蚀刻过程。此外，Tactras Vigus Chamber被批准用于半导体和电子行业，并附有1年保修。它的设计使操作和维护更加方便，具有用户友好的液晶面板和方便的控制面板。它能够对多种材料进行蚀刻，使其成为各种蚀刻应用的通用设备。总体而言，TEL Chamber for Tactras Vigus是一款先进的蚀刻设备，提供可靠的性能和精确的蚀刻结果。它具有用户友好的特点和广泛的支持气体类型，适用于各种蚀刻工艺。*FGR-污气去除**CVD-化学气相沉积***FGR-污气修复