二手 TEL / TOKYO ELECTRON Chamber for Tactras Vigus #9353006 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Chamber for Tactras Vigus Etcher/Asher是一种最先进的蚀刻/灰化设备,旨在以最短的处理时间提供优异的效果。其独特的设计融合了带有数字电机控制系统的真空室，用于精确高效的操作，以及用于维护精确参数的闭环过程监控单元。机器配备了先进的可编程逻辑控制器（PLC），可监控和控制蚀刻/灰化过程的每个步骤，从而实现高精度蚀刻/灰化结果。TEL Chamber for Tactras Vigus Etcher/Asher具有众多功能,与市场上的其他蚀刻/灰化系统相比,它是一个独特的选择。首先，它的闭环过程监测工具可以精确估计周期时间，防止过度加工和销毁有价值的材料。其次，其先进的PLC资产允许通过提高蚀刻速度和降低破损概率来优化蚀刻/灰化工艺。最后，该模型包括多种自动编程工具，包括基于程序和交互式编程，以及实时监控和编辑蚀刻/ashing参数。性能方面，TOKYO ELECTRON Chamber for Tactras Vigus Etcher/Asher能够蚀刻/Ashing基板，厚度可达12mm，尺寸为700 mm，失真最小。它可以处理蚀刻/ashing作业,油墨时间非常低,为70秒,蚀刻/ashing分辨率高达10nm,从而获得准确而均匀的结果。此外，该设备还包括各种安全功能，如紧急停止开关、过流保护和阀门的干流保护。Chamber for Tactras Vigus Etcher/Asher是一个功能强大的蚀刻/灰化系统,它使用户能够以低成本和时间效率的方式获得优异的效果。其众多的特性、先进的PLC单元以及令人印象深刻的蚀刻/灰化性能，使其成为那些寻求可靠和高效蚀刻/灰化机的人的绝佳选择。