二手 TEL / TOKYO ELECTRON Chamber for Tactras Vigus #9353007 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Chamber for Tactras Vigus
ID: 9353007
晶圆大小: 12"
优质的: 2010
Chamber, 12" BEOL 2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Chamber for Tactras Vigus是一种蚀刻/asher工具,用于对用于制造集成电路(IC)的电路板进行图样化。它由四个主要组成部分组成:蚀刻室、热扩散板、化学分布头和基板处理机构。蚀刻室是由不锈钢製成的圆柱形室。其内部衬有耐热耐火材料。热扩散板放置在腔室底部。它旨在将蚀刻过程中产生的热量均匀地分布在整个腔室和基板表面。化学分配头负责将蚀刻化学品送到蚀刻室。它遵循一系列精确的运动喷洒蚀刻化学物质到基板上。它旨在精确测量和驱散蚀刻化学品,还能够从蚀刻室中清除残留的任何化学品。基板处理机构负责将基板牢固地定位在蚀刻室中,并将结构定位为均匀的化学分布。这一机制旨在处理各种尺寸和形状的基板,并且需要最小的校准和输入。TEL Chamber for Tactras Vigus是一种可靠、高效的蚀刻/asher工具。它非常适合于从玻璃晶片到聚酰亚胺片材等各种基材的图桉。其先进的化学处理能力允许在蚀刻过程中的高精度。其精确测量和分散蚀刻化学品的能力及其高效的热扩散板使得蚀刻成为一种快速高效的工艺。此外,其控制系统允许精确控制蚀刻过程,包括温度和压力水平,确保基板的均匀蚀刻。TOKYO ELECTRON Chamber for Tactras Vigus是一种可靠且具成本效益的蚀刻/asher工具,用于对IC制造中使用的各种基板进行阵列化。
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