二手 TEL / TOKYO ELECTRON Chambers for SCCM #293602570 待售
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ID: 293602570
晶圆大小: 12"
TEL/TOKYO ELECTRON Chambers for SCCM是一种先进的蚀刻器和asher系统，非常适合半导体基板的精密处理。TEL/TOK Chambers由湿蚀刻和干灰泥组成,旨在提供最高水平的控制和准确性,提高产量并最大限度地提高吞吐量性能。腔室由一个不锈钢真空室组成，该真空室具有独立的腔室组件，可实现精确的温度和过程控制，提供卓越的均匀性。松下蚀刻和灰化系统提供可靠的，可重复的结果，低水平的基板损坏。腔室可调至6英寸宽，在整个蚀刻/灰烬过程中调节腔室压力、温度和压力等特定条件，确保最大控制和效果。为了进一步确保准确性和均匀性，腔室采用了统一气体输送和消融能等创新技术，包括气体扩散板，允许精确的气体流动。还可以使用低压脱离子（DI）水喷雾，这有助于保持室内的精确目标压力。这反过来又有助于消除基板上的颗粒堆积，确保精确的蚀刻、灰化和加工。此外，该室采用密封电极结构，旨在适应湿蚀刻工艺，提供低压和精确、均匀的蚀刻。这有助于最大程度地减少蚀刻不一致,从而减少缺陷。该设计还有助于提高吞吐量和缩短周期时间。TOKYO ELECTRON/TOK TEL Chambers具有坚固耐用的结构、出色的温度和工艺控制精度、创新技术以及高可靠性和可重复性的性能,是尖端半导体基板的理想蚀刻器和粉碎器,可提高产量并最大限度地提高吞吐量。
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