二手 TEL / TOKYO ELECTRON DRM #293607522 待售
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TEL（TOKYO ELECTRON）TEL/TOKYO ELECTRON DRM是为半导体和光掩模工业设计的蚀刻/灰化设备。它是一个强大的自动化系统，蚀刻大面积基板，快速和准确。它由一个主加工室和四个分室组成。主室为大型加热不锈钢外壳，配有加热进出口、排气单元、吹气机、加工气源、样品输送工具。子室用于供应多种工艺气体，包括氟气、氯气、氢气、氮气和氧气。气体储存在各自的子室中，并在所需的压力和温度下运行，以实现所需的工艺。还提供了真空泵，用于工艺室的疏散。样品运输资产由机器人臂组成，机器人臂将样品基板从主室移动到子室。该模型还有一个集成的等离子体源。该等离子体用于清洁腔室，使要蚀刻的表面暴露于反应性离子。等离子体还通过精确控制存在的离子密度和类型来帮助控制蚀刻过程。这允许非常精确的过程控制。此外，还使用了互锁设备，以确保在进程进行期间腔室保持关闭状态。TEL DRM系统用途极为广泛,可用于多种蚀刻应用,包括薄膜蚀刻、细纹和特征加工。它易于设置和操作，能够提供最小缺陷的优异效果。该机组也非常节能经济，能够在短时间内生产出高质量的蚀刻。
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