二手 TEL / TOKYO ELECTRON DRM #293616604 待售

TEL/TOKYO ELECTRON DRM是一种蚀刻机，用于将图样传递到基板上。这台机器通过用带电粒子束（如离子）爆破硅晶片（或其他材料）来操作，以便在晶片表面上创建所需的图样。这些离子保持能量，如果这束能量足够低，离子不会同时对材料造成任何损害。这台机器也被称为光刻剂asher或干蚀刻器，因为它的蚀刻机理涉及在蚀刻过程中使用离子而不是化学物质。这种蚀刻方法可以用更少的碎屑实现更快的蚀刻（因为没有使用液体化学物质），并且可以产生比液体蚀刻更精细的图样。TEL DRM利用等离子体辅助蚀刻工艺提高精度。在这个过程中，一种中性气体（典型的氦和氧的溷合物）被引入机器的腔室，然后在两个电极之间施加高压。两个电极之间的电场导致气体带电，形成等离子体。等离子体中的单个气体分子离子在与晶片表面碰撞的同时保持其能量晶格完整，从而避免了对晶片的任何损害。离子束可能集中在特定的区域，利用这种光束，机器存储了一个有数百万个不同蚀刻图样的库，这些图样在蚀刻过程中使用。此外，在蚀刻过程中，机器可能会受到外部电压的控制，这会改变等离子体的净能量，并可以为蚀刻过程提供额外的控制和精度。TOKYO ELECTRON DRM是一种高度精确可靠的机器，能够创造极低的线宽和高分辨率模式。本机维护最少，能达到高品质的最终效果，可用于多种材料。它是各行业薄膜蚀刻的热门和有效选择。