二手 TEL / TOKYO ELECTRON Etch chamber for Certas RST #293671309 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ETCH Chamber for Certas RST是一种用于制造集成电路元件和基板的高度先进、可靠的蚀刻和灰化系统。这种蚀刻室能够执行各种各样的加工任务，从铝的相互连接蚀刻到光致抗蚀剂的粉刷，再到某些材料的退火。TEL蚀刻室结构精密,具有最高的可靠性和可重复性.腔室采用了高精度射频发生器、双区射频电极、集成温度控制等先进特性，使其实现了最紧的工艺公差。除了蚀刻室坚固可靠的功能外，它还设计了易于使用的控件和软件。这使得用户体验直截了当；可以快速存储、检索和编辑蚀刻室参数,以便于操作。TOKYO ELECTRON Etch chamber被设计成一个高效和生产性的工具。腔室具有三模式晶片传输机制，允许以极高的吞吐量速度低压装卸晶片。此外，先进的绘图能力被纳入蚀刻室的床，使操作员能够设计和绘制用于蚀刻和等离子体灰化的模板。TEL/TOKYO ELECTRON Etch Chamber是一种处理多种工艺应用的功能极其强大且用途广泛的工具。其精密的构造和易于使用的控制使其适合广泛的蚀刻和灰化应用，如MEMS制造、等离子体灰化、聚酰亚胺去除等等。这个蚀刻室是出于安全考虑而设计的。它具有多种安全特性,如多个压力和温度传感器,以及屏蔽良好的射频电子设备,使操作员和人员在操作腔室时不受伤害。Certas RST的TEL蚀刻室是一种可靠且先进的蚀刻和灰化系统,能够满足最严格的工艺公差并实现最高的吞吐量速度。该蚀刻室具有易于使用的界面、坚固的结构和安全功能,确保满足任何IC制造或设备制造操作的需要。