二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1-H #293641258 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1-H是一种为晶圆级器件制造而设计的蚀刻器/asher。它采用多腔室、多气体和多盒式处理，能够处理100毫米和150毫米晶圆。利用这种蚀刻器/灰化器，晶圆级设备制造工艺比传统工艺更快、更高效。TEL Formula-1-H 蚀刻器/asher配备了一个多室平台，可以进行干湿蚀刻。其多气体特性增加了多达四种可加工气体的多功能性，允许一系列反应。这样既可以进行深层蚀刻，也可以进行硬面膜蚀刻，以及接触蚀刻和各向异性蚀刻。多盒式功能允许控制气体补充，消除处理时间和优化周转。工艺气体的隔离也提高了环境安全，可以减轻洁净室的负荷。TOKYO ELECTRON FORMULA 1H专为单层和多层工艺的晶圆级器件制造而设计，产量高。它具有低功耗设计，配有快速晶圆传输机器人，可以减少加工时间。多室平台的设计具有灵活性和可扩展性，允许各种新的流程，可以根据需要进一步完善。该系统还采用镀金腔室表面，降低维护成本，确保更清洁的加工。TOKYO ELECTRON Formula-1-H包括一个自动清洗系统，以防止过程污染。该系统还包括先进的安全功能,确保最佳操作安全.Formula-1-H 蚀刻器/asher是半导体工业的理想选择,能够以最高的效率制造晶圆级器件。