二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1-H #293641260 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1-H（F1-H）是一种用于快速加工半导体晶片的高性能蚀刻器/asher。它能够在高达600°C的温度下蚀刻和灰化晶片，并有一个双供气设备来支持所有三种主要半导体材料的蚀刻。该F1-H还配备了高分辨率的桌面图像/滤镜和数字图像处理系统，以及先进的过程控制系统。该F1-H具有改进的设计，具有坚固的铝基真空室，并能够进行蚀刻和灰化与相同的工艺和腔室。这允许为生产复杂的VLSI电路制造紧密的线宽和公差水平。此外,使用F1-H专用控制台终端可以轻松设置和维护过程控制。F1-H还配备了先进的腔室冷却系统，在加工过程中保持腔室温度稳定，消除工件上的热应力。此外，该装置的气体输送装置能够对多达六个独立的气体通道进行精确的气体控制，从而能够精确控制蚀刻和灰化参数。该F1-H还设有晶片清洁机，可配置为使用温和的清洁法，以减少损坏细腻晶片的可能性。该F1-H的加工时间仅为30分钟,加上出色的蚀刻和灰化能力,可提高吞吐量和制造效率。此外，该设备的可编程控制器允许用户存储和召回流程配方，并且与几个SEMI标准软件程序兼容。总而言之，F1-H是一种可靠、高性能的蚀刻器/asher，适用于多层半导体元件的大批量生产。