二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1-H #9268382 待售
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ID: 9268382
晶圆大小: 12"
优质的: 2003
Nitride furnace, 12"
Gas process: DCS-SiN and ALD High-K on LPCVD
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1-H是一种用于微电子器件制造的精密蚀刻器/asher。它是一种超高精度蚀刻工艺，结合了业界领先的蚀刻性能，加上充足的等离子体和排气能力，导致了很高的均匀性和非常低的蚀刻高度。这是通过利用行星磁控管实现的，该磁控管允许均匀的蚀刻高度，以及控制阳极电压的专有算法。整个蚀刻装置旨在最大限度地减少颗粒生成，提高工艺质量。TEL Formula-1-H利用先进的成像技术来实现超高精度的过程。这种成像技术识别薄膜图样，并以高精度和精确度进行蚀刻。除了蚀刻材料外，TOKYO ELECTRON FORMUS1H可以用于纯蚀刻以及高长宽比蚀刻和镀层。这使得它适合广泛的应用。通过TEL/TOKYO ELECTRON FORMULA 1H实现的高速蚀刻是基于高精度蚀刻工艺和等离子体阳极电压调节技术的结合。这种高速蚀刻使得在短时间内实现超精密蚀刻成为可能，同时避免对基材或周围部件造成任何损坏。高速蚀刻还提高了蚀刻高度的均匀性，实现了高质量、高精度的精加工。蚀刻过程由多频原位自动监控设备监控，提供了非常稳定的蚀刻过程和精确的蚀刻条件。此外，自动浓度控制系统确保了过程的正确和一致调整，以保持最佳蚀刻条件，从而实现可靠和可重复的结果。最后,将所有这些功能合并到一个单元中以简化生产过程。此外，这台机器还被设计成灵活，容易针对特定的应用和需求进行定制。这样可以确保Formula-1-H将最新技术与高效的生产过程相结合。
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