二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293625497 待售
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ID: 293625497
优质的: 2005
Diffusion furnace
Control system
Heater temperature: 600°C-900°C
Load port
FIMS
Wafer transfer
Boat elevator / Seal cap rotation
Auto shutter
Heater model
N2 Load lock
Boat operation
Process: LPCVD
Si SEMI STD-Notch, 12"
Furnace temperature controller: M780
HTR
Power box
Carrier transfer
Mechanical driver
Exhaust box
Front and rear upper cover
Final valve box
Gas flow chart
O2 Analyzer
Hard Disk Drive (HDD)
Does not include HCT
User interface:
MMI and gas flowchart: Gas box and front operation panel installed
Pressure display Unit: Mpa / Torr
Carrier type: FOUP / 25slots SEMI STD
Fork meterial: Al203 and PEEK
W/T Type: 1+4 Edge grip
16-Carrier stage capacity
Wafer notch aligner
RCU
UPS
Power distribution system:
3-Phase connection type: Star connection
Single-Phase connection: Grounded
Single-Phase voltage
Gas distribution system:
FUJIKIN Integrated Gas System (IGS)
IGS Final filter, regulator: MFC Z500 Type
MKS Capacitance manometer vacuum gage - press monitor (133 Kpa)
Power supply: 400 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H是一个单室、计算机控制的蚀刻器/asher。它旨在提供在微细加工和半导体应用中蚀刻和灰化过程的高精度结果。设备配备了多种选择和综合功能，以确保过程的准确性和可重复性。TEL Formula-1S-H的主要组成部分是蚀刻/asching室。由不锈钢建造，最大容量600升。室内引入源气体，保持真空气氛，进行精密蚀刻和灰化处理。室内温度也通过精确的电子温度控制器调节。温度的精确控制确保了过程的精确结果和可重复性。该系统还提供了几个可选的附件来增强流程。它可以配备冷水机，以防止交叉污染，并提供对过程的精确控制。为了获得更好的分辨率,可以在单元中添加辅助压板,以便以更高的分辨率精确蚀刻。翻转板也可用于精确的垂直蚀刻。TOKYO ELECTRON Formula-1S-H有几个优点：使用简单，提供精确的结果；它用途广泛，允许根据要求调整不同参数；与不同的蚀刻和灰化参数兼容，包括高密度蚀刻；其安全特性可确保最低限度地接触有害气体。该机易于融入现有生产线。它可以连接到计算机以提供流程数据、监控流程并确保结果的可重复性。还可以与SEM、AFM、晶圆步进等其他系统集成，进一步提高工艺效率。总体而言,Formula-1S-H是一个可靠而精确的蚀刻器和灰烬.它的高性能和许多附加功能使其成为各种微加工和半导体应用的理想选择。
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