二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293647206 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H是一种先进的蚀刻和灰化设备,专为手动和自动化半导体生产过程而设计。该系统构建在开放式体系结构平台上，允许在选择软件、材料和组件时具有最大的灵活性。蚀刻器/asher单元由一个加工室组成，由高速电磁搅拌器和热板驱动，用于在加工前对晶片进行预热。该腔室能够在超高真空（UHV）中进行灰化和蚀刻循环，还配备了强大的高频等离子体源。该单元具有高效的晶圆装卸机，能够处理各种晶圆直径（从2"到6"）。该设置还允许手动或自动操作,因此非常适合生产部署。流程控制非常先进,允许对每个处理步骤进行详细的参数设置、监视和文档记录。这样可确保最大程度的可重复性和产品质量。其他功能包括高容量的板载供气,以及高精度的流量控制,以实现一致的蚀刻/灰化结果。该工具还可与在线计量工具和实时晶圆清洗资产相结合，以提高效率和综合质量控制。TEL Formula-1S-H 蚀刻器/asher的设计符合半导体行业标准,提供安全可靠的结果,使其成为自动化驱动的生产环境的理想选择。该模型易于安装和维护，用户干预最少，内置校准设备。这使其成为现代半导体制造作业的理想之选。