二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293651983 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H 蚀刻器/asher设计用于可靠的高通量晶圆蚀刻应用。该设备采用专利的三区结构，带有负载锁定和转移室、前室和蚀刻反应区，用于高效氧化和蚀刻过程。TEL Formula-1S-H利用集成软件系统进行自动化和可重复的过程控制和监控。该单元采用高真空成形和清洁室设计，能够形成1x10-6 torr的高真空环境。自动冷却歧管确保在蚀刻之前对基板进行均匀和可重复的冷却。简单直观的用户界面允许用户快速编程过程条件和气体流速。主室包含一个用于样品蚀刻的反作用区，具有一个变频、高频发电机，用于精确控制蚀刻功率。旋转的提升臂增加了机器的稳定性，并允许可变和可重复的蚀刻。该室还采用超高分辨率质量流控制器（MFC）提供免提过程控制,并通过电子控制单元（ECU）中的正向电源设置启用射频功率调节。TOKYO ELECTRON Formula-1S-H 蚀刻器/asher还包括增强的多区控制、优越的蚀刻均匀性、大容量的盒式装载机、改进的基板加热歧管和耐氧化还原、重型不锈钢腔室等附加功能。独特的弹簧清洗工具进一步缩短了加工时间，而自动清洗资产减少了蚀刻残留物的形成，增加了内部部件的使用寿命。Formula-1S-H 蚀刻器/asher利用各种安全选项,例如用氮气清除气体、后排气管和其他互锁装置。提供了一个先进的红外端口，用于监测腔室温度，并包括一个全面的监测和过程控制模型，以及实时的过程数据采集，以进一步确保最大程度的过程可靠性。总之，TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H 蚀刻器/asher是一种用于蚀刻和灰化应用的高度可靠、高效的设备。其中包括一些高级功能以确保一致的结果,以及许多安全功能。该系统非常适合中高容量的蚀刻和灰化应用,并得到了TEL业界领先的服务和支持的支持。
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