二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293653295 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H是一款具有人性化设计的高性能蚀刻器/asher。该设备具有单线或双线系统的顶部加载和底部加载配置。蚀刻器/灰烬压力控制由两级两站压力调节器维持。单行单元最多可同时处理五个食谱，双行一次最多可处理10个食谱。该机还设有一个高分辨率的X-Y-Z机器人，用于装载和卸载基板，以及一个可编程的侧壁角度控制器，用于精确蚀刻和灰化过程。TEL Formula-1S-H 蚀刻器/asher采用RF和直接加热线圈的溷合加热方法,确保整个补丁区域的温度均匀性。腔室大气通过涡轮分子泵来控制，允许持续分析和维护。包括一个实时干涉仪来监测过程，以及一个无滤清器的排气工具与冷却排气。资产还包括一个可编程的安全互锁与锁定频率限制器，以保护模型及其操作员。一个方便的电源允许直接连接到设备，具有单点电子束电源。最后采用红外加热系统将环境温度降低到所需温度。TOKYO ELECTRON Formula-1S-H ETCHER/ASHER是一个可靠而灵活的单元，能够为任何蚀刻或ASHING应用产生准确的结果。其用户友好的设计、集成的安全特性和先进的温度控制能力使其成为任何蚀刻和灰化操作的绝佳选择。
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