二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293654964 待售
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ID: 293654964
优质的: 2006
Diffusion furnace
Control system
Heater temperature: 600°C-900°C
Load port
FIMS
Wafer transfer
Boat elevator / Seal cap rotation
Auto shutter
Heater model
N2 Load lock
Boat operation
Process: LPCVD
Si SEMI STD-Notch, 12"
Furnace temperature controller: M780
HTR
Power box
Carrier transfer
Mechanical driver
Exhaust box
Front and rear upper cover
Final valve box
Gas flow chart
O2 Analyzer
Hard Disk Drive (HDD)
Does not include HCT
User interface:
MMI and gas flowchart: Gas box and front operation panel installed
Pressure display Unit: Mpa / Torr
Carrier type: FOUP / 25slots SEMI STD
Fork meterial: Al203 and PEEK
W/T Type: 1+4 Edge grip
16-Carrier stage capacity
Wafer notch aligner
RCU
UPS
Power distribution system:
3-Phase connection type: Star connection
Single-Phase connection: Grounded
Single-Phase voltage
Gas distribution system:
FUJIKIN Integrated Gas System (IGS)
IGS Final filter, regulator: MFC Z500 Type
MKS Capacitance manometer vacuum gage - press monitor (133 Kpa)
Power supply: 400 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H是一种蚀刻器/灰烬，专门用于半导体器件制造的精密微加工工艺。它是一个单一的制造平台,具有高度通用的工具集,能够蚀刻、清洁和平面化后端线（BEOL）层和高级结构。该机器的设计提供了高度的灵活性,同时实现了较高的生产率水平。该设备用于先进的微电子制造，能够处理各种微观结构，从简单的遮罩到结构复杂的高密度装置。TEL Formula-1S-H能够以高吞吐量级别进行蚀刻和清洁,并配备了一整套自动化功能,可确保准确性和可靠性。它有一个集成的清洁系统，可以容纳后端线层所需的湿法和干法。它具有用于精确对准和运动控制的高级CAD单元。该机拥有精密的过程控制软件，允许实时反馈和参数调整，以确保产量。TOKYO ELECTRON Formula-1S-H专为高通量和可重复性而设计。它的模块化体系结构和用户友好的图形控制软件可以方便地进行流程设置。它还具有一个安全接口,可用于维护和编程目的的安全远程访问。该工具还配备了可编程逻辑控制器，用于自动化操作和增强设备保护。该资产还内置了安全功能和保护，如温度和压力传感器、火灾和气体检测系统，以及过程监控。该模型具有低温几何蚀刻能力，可减少残余应力和对细腻基板结构的变形。它还有一个优化的沉积过程，减少颗粒污染，以确保最高性能。Formula-1S-H设计符合国际半导体生产行业的标准。它是业界领先的多用途可靠的蚀刻和灰化设备。它提供卓越的性能和加速的微加工增长。该系统设计易于使用、灵活、经济高效。这使得TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H现代半导体器件制造高精度微加工需求的理想选择。
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