二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293744363 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H是一种蚀刻/asher设备，旨在使用户能够蚀刻和灰分半导体材料，用于制造集成电路、薄膜、微机电器件以及相关产品。该系统通过与基板表面一致的蒸发/冷凝过程工作。它设计用于处理多种不同的基材类型和材料，包括硅片、玻璃滑梯、金属基材和奇特的半导体合金。TEL Formula-1S-H具有真空室,该真空室密封在疏散气体中,确保环境保持在-50至+150°C的温度范围内。真空室使用内置的加热器，在蚀刻过程开始之前将选择的基材加热。TOKYO ELECTRON Formula-1S-H以热解吸装置（TDU）为主要成分。该单元既包含高频蚀刻单元，也包含低频蚀刻机，允许用户根据自己的应用蚀刻和灰烬更具体的材料。TDU还具有高达300 °C的可调温度,用于精细基板的高精度蚀刻。Formula-1S-H还具有"后蚀刻分析"工具。该资产跟踪基材在蚀刻时的厚度，并提供有关蚀刻精度的反馈。此外,它还可以提供有关蚀刻过程均匀性的信息。最后，TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H具有深层紫外线光学吸收模式，使用户能够测量基材在原子水平上的均匀性。这提供了精细材料蚀刻和灰化时的准确性和信心。总之，TEL Formula-1S-H是一个先进的蚀刻/asher模型设计，以适应各种不同的基材。其特点，如TDU、PEA、深层紫外线光学吸收器设备，在蚀刻和灰化细腻材料时保证精度、精度和均匀性。