二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293744364 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H是为集成电路和微机电系统（MEMS）的工业制造而设计和设计的最先进的蚀刻/灰化设备。此高级系统的设计可确保高吞吐量、精密蚀刻过程,并可提高设备产量、提高工艺可靠性和缩短周期。TEL Formula-1S-H利用高真空环境来确保完整的过程控制和可预测的结果。这种高吸尘特性有助于防止污染物沉积在晶片上，也有助于防止从一批晶片到另一批晶片的交叉污染。该单元可容纳直径从2英寸到8英寸不等的晶圆尺寸，具有为高效工艺均匀性、晶圆位置均匀性和温度而设计的加工室。蚀刻过程发生在低应力环境中，这有助于在蚀刻过程中最小化设备应力和损坏。该机利用先进的电脑化温度控制和电源管理系统，确保在蚀刻过程中精确的温度和电源控制。该温度控制工具具有根据指定工艺参数调节样品温度的能力。电源管理子系统允许用户调整蚀刻的功率水平和沉积速率，以达到最佳效果。TOKYO ELECTRON Formula-1S-H还为广泛的湿法和干法蚀刻、灰化、溅射和离子植入过程提供支持。该资产还与各种远程监控系统集成在一起，允许用户实时监控晶圆状况、沉积和蚀刻参数。这项技术保证了流程的一致性和可靠性。这种先进的模型还利用先进的监控系统，让用户能够监控单个蚀刻和ashing运行的结果，并确保过程的一致性和稳定性。此外，设备完全可定制，允许用户指定疏散参数、工艺室尺寸、样架、目标晶圆尺寸、方向等参数。Formula-1S-H是一个功能强大、用途广泛的蚀刻和灰化系统，旨在确保在微电子和MEMS制造中的应用得到一致和统一的处理结果。这台机组先进的温度和电源管理系统提供了可靠的过程控制环境，而其远程监控功能则允许用户实时监控晶圆状况、沉积和蚀刻参数。机器的可自定义配置允许用户根据需要有效地扩展蚀刻和灰化过程。