二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293796682 待售
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ID: 293796682
优质的: 2016
Furnace
Process: TEOS
Gas flow chart
Gases: Pure N2, 20% F2 / N2, HF, Q2
Power box
Exhaust box
WAVES Controller
Rapid Cooling Unit (RCU)
Pump diameter: 100 A
CKD VEC-V8 Series Valve
2016 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H（或F1S-H）是一种化学蚀刻器/asher，提供各种材料的精密蚀刻/ashing能力。紧凑的四气设备有两条蚀刻气线和两条能量感应气线。该系统高度自动化,使用户能够为各种蚀刻/ashing任务编程所需的条件。该F1S-H配备了高分辨率加热器等先进功能，用于精确的温度控制。它还对所有四条气线都有独立的控制，允许正负压力调节，以最大限度地提高蚀刻/灰化效率。该装置的温度由石英复合热电偶监测。温度可在4 600℃范围内调整,以匹配正在蚀刻/粉刷的材料。该F1S-H还设有多头喷嘴机，可互换喷嘴范围从3到55微米，每个喷嘴之间的距离最小。这允许用户根据需要精确调整蚀刻图桉的大小和形状，从而获得更准确的结果。该F1S-H还有一个先进的膜处理工具，是完美的干燥和湿膜。该资产可处理氧化金锡、金、铝等薄膜类型。薄膜基材可加工至8英寸宽,薄膜厚度为3-15微米.为了安全措施，F1S-H配备了室内和外部废气监测能力。该模型旨在在气体含量达到不安全水平时自动关闭腔室。TEL Formula-1S-H是用于蚀刻/灰化应用程序的理想解决方桉,可提供精确度和效率。它的高级特性和功能使其成为满足各种蚀刻/灰化需求的可行选项。凭借其紧凑的设计和坚固的设备，F1S-H是一个经济可靠的选择，以满足各种工业、实验室和研究需求。
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