二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #9382422 待售

ID: 9382422
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
Vertical LPCVD Furnace, 12" Process: ALDALZROX (2) Load positions / Auto indexer loaders F15 Workstation Does not include Hard Disk Drive (HDD) Missing parts: Power box RCU Unit Equip water cooling unit Ozonizer Power supply: 400 VAC, 3 Phase 2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON FORMUM ALD High-K是为了半导体器件製造而优化的先进蚀刻/asher设备。利用原子层沉积(ALD)技术和高k介电材料,TEL公式ALD High-K提供了对蚀刻深度的精确控制和优异的选择性。这种先进的蚀刻器/asher具有可靠、可重复的真空工艺,能够在控制材料厚度的同时去除材料。其先进的冷却系统可确保整个晶片的快速、均匀的冷却速率,从而减少不需要的横向定义蚀刻。TOKYO ELECTRON FORMULA ALD High-K具有强大的高效电机,能够快速、精确的蚀刻技术来制造最新的半导体器件。其精密的沉积头保证了各种尺寸的基板蚀刻时的高选择性。Formula ALD High-K与各类基材兼容,包括硅、氧化硅、硅酸盐、钼酸盐、石英等,使其适合各种半导体器件的应用。该单元还支持使用高k介电材料,与传统溶液相比,它提供了优越的介电特性。TEL/TOKYO ELECTRON FORMUM ALD High-K提供卓越的蚀刻均匀性,使其成为先进半导体器件设计的理想蚀刻器/asher。其先进的高k介电材料可确保出色的蚀刻效果,而不会牺牲兼容性或可靠性。其高效率的电动机允许高密度、高速的蚀刻,而其精确度保证了严格的结果与低总拥有成本。总体而言,TEL Formula ALD High-K是为制造最新半导体器件而优化的先进蚀刻器/asher机器。其精密可靠的真空工艺,加上与先进的高k材料的兼容性,使得该工具成为任何蚀刻或灰化工艺的理想解决方桉。因此,TOKYO ELECTRON FORMUM ALD High-K是现代半导体器件制造的有力工具。
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