二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula ALD High-K #9263885 待售

TEL/TOKYO ELECTRON FORMUM ALD High-K是一种反应性离子蚀刻器/asher，设计用于制造半导体工业中硅和其他基板的先进器件。该工具配备了高精度、最先进的等离子体源,可以在平面和3维结构中精确蚀刻或粉刷极薄的层（最低1nm）。该系统还具有先进的设备增强功能,专门设计用于减少蚀刻或灰化过程的过程时间,同时仍保持最高精度。例如，它配备了高频脉冲源以及改进的气体系统，以实现最佳蚀刻和灰化性能。此外，其独特的TEL Formula ALD High-K技术能够更好地控制等离子体特性和蚀刻精度。因此，这允许重现具有重复性和均匀性的高级蚀刻和灰度图样。此外，TOKYO ELECTRON FORMUM ALD High-K支持使用各种气体，例如一些氟化气体，用于高度专业化的蚀刻和灰化工艺。它还具有使其能够制造各种材料层（厚度在1到25nm之间）,并具有卓越的清洁度和准确性。此外，系统与多种底物兼容，包括硅化物、氧化物和高K电介质。当使用适当的安全措施和专业知识时，ALD High-K方程式可以提供可靠的蚀刻和灰化工艺，能够用硅和其他基板制造高性能、先进的器件。因此，它是半导体公司的宝贵工具。