二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula ALD High-K #9372779 待售

TEL/TOKYO ELECTRON FORMUM ALD High-K是次世代蚀刻器和asher。它是为先进半导体工艺而打造的高性能工具。它包含了几个尖端的功能，使用户能够实现高精度的蚀刻和ashing操作。ALD High-K设计紧凑,能高效地提供精确、可重复蚀刻所需的功率和速度。它配有600毫米的加工室，允许蚀刻大型复杂结构。该腔室配有四级差速泵系统和光学监测设备，可提高精度并有助于确保精细蚀刻效果。由于其先进的冷却系统，该工具在长时间使用后能够保持稳定的加工条件。除了耐用、高性能的硬件外，ALD High-K还拥有强大的软件。其先进的模式识别算法通过实时检测弱蚀刻零件，促进了最佳蚀刻性能。此外,其用户友好的GUI界面有助于提高操作效率。ALD High-K符合广泛的蚀刻和灰化应用，包括多硅和二氧化硅蚀刻、铜去除、金属各向异性蚀刻等等。它还能够进行半导体工艺控制，允许用户进一步定制和优化其蚀刻工艺。总体而言，TEL Formula ALD High-K是一款功能强大、可靠的蚀刻器和asher，旨在满足现代半导体行业的需求。凭借其最先进的硬件和软件功能,它能够在每次使用时提供可重复、精确的结果。