二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula ALD High-K #9404261 待售

TEL/TOKYO ELECTRON FORMUM ALD High-K是一款基于原子层沉积（ALD）技术的先进蚀刻器/asher。它是TEL系列ALD设备的最新新增产品，旨在帮助工程师和科学家以高精度和高精度创建高级设备。TEL Formula ALD High-K设计为通过极高精度和均匀性的高K介电和金属互连材料进行蚀刻。它采用低压低温环境，帮助最大限度地减少材料损失和对敏感电子元件的损坏。蚀刻器/asher具有先进的特点，包括动态反应室和稳定的等离子体室，这允许精确和一致的蚀刻结果。这一过程是在两步过程中进行的，使用一个过程程序来控制前体气体的脉冲序列，导致材料的均匀蚀刻。TOKYO ELECTRON FORMULA ALD High-K附有一系列配件，包括製程程式、日志档桉，以及触摸屏介面以方便操作。它还具有用于蚀刻和工艺优化的软件支持的模拟,使用户能够自定义其蚀刻过程并针对其特定应用进行优化。设备配备了安全措施,包括在发生意外或危险事件时自动关闭或发出警报。它还设计为节能,因为它配备了一个电源管理系统,可监控设备的性能并优化设备的功耗。综上所述，Formula ALD High-K是一款先进的蚀刻器/asher，旨在帮助工程师和科学家以极高的精度和均匀性通过高K介电和金属互连材料进行蚀刻。其先进的特性、众多的配件和节能的设计使其成为高级设备开发的宝贵工具。