二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #293596090 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula （TEL/TF）是TOKYO ELECTRON （TEL/TOKYO ELECTRON）为半导体工业中的蚀刻和灰化过程而开发的蚀刻器/灰化器。它基于公司独特的技术,为各种设备类型提供可靠、高效的蚀刻/灰化工艺。TEL/TF 蚀刻器/asher是一种基于真空的设备,它利用多种先进技术来实现精密体系结构的稳定蚀刻/灰化。它有一个小的足迹，这使得它适合各种蚀刻/ashing过程。此外,它还具有自动化的过程控制系统和先进的运动控制功能,可确保整个基板上均匀的蚀刻/灰分参数。对于蚀刻工艺，TOKYO ELECTRON/TF 蚀刻器/asher采用反应性离子蚀刻（RIE）工艺，可以比传统的RIE工艺更受控地蚀刻蚀刻结构。此外，它具有对各种材料进行各向同性和各向异性蚀刻的能力，可用于产生3D结构。蚀刻过程使用感应耦合等离子体（ICP）与由高级控制器控制的集成气体输送单元。同时，TEL/TOKYO ELECTRON/TF 蚀刻器/Asher的灰化工艺利用特氟龙封装的红外灯实现了可重复、气密、化学惰性等离子体，去除蚀刻等工艺中的残留污染物。灰化机可以精确调节压力、温度和室内气氛，提供高度一致和可重复的过程。此外，TEL/TF 蚀刻器/asher还具有广泛的机电式盒式磁带传输和附件，用于自动基板加载和处理。它还拥有先进的晶圆加热和冷却系统以及用于精确维持基板温度的真空泵。TOKYO ELECTRON/TF 蚀刻器/asher设计为用途广泛，可以定制以满足各种蚀刻/灰化工艺的要求。凭借其广泛的能力和先进的技术，TEL/TOKYO ELECTRON/TF 蚀刻器/asher是半导体行业中一种可靠、高效的蚀刻和灰分工艺解决方桉。