二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #293620669 待售
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ID: 293620669
晶圆大小: 12"
优质的: 2003
Furnace, 12"
(2) Load ports
(7) Boxes
Chamber
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula是一款高精密蚀刻机，专为超精细电路图样和光掩模应用而设计。TEL配方能够使用最精确的专用基材和材料进行蚀刻工艺。该机器配备了创新的自动晶圆送货设备，能够及时高效地处理大批量订单。机器采用的高精度蚀刻工艺首先是将基板装入腔室，然后将其密封并清除周围空气。加热器和低压电子随后将腔室排空，建立最佳的处理气氛。此后，蚀刻机利用先进的脉冲激光沉积（PLD）和离子束蚀刻（IBE）技术，制造出一系列多级金属和介电膜。TOKYO ELECTRON Formula的精确度因其内置的原子吸收和源靶隔离系统而进一步提升。这些系统减少了蚀刻参数的公差和波动,从而能够创建细线形状和微小的点间距。这进一步降低了晶圆变形或蚀刻误差的风险。此外，Formula还配备了嵌入式控制系统，使技术人员能够定制每一个流程。该机器还拥有一个强大的自动粒子过滤和回收装置，有助于减少灰尘或碎片被纳入薄膜的可能性。得益于其独特的自动化钝化机，可以对每一层的结构进行彻底的监控和调整，防止损坏。总之，TEL/TOKYO ELECTRON配方蚀刻机为一系列光掩模和纳米加工应用提供了卓越的精密工程。其先进的特性，包括其自动晶片输送和控制系统，确保了最灵敏、最复杂的基板能够高效加工和达到最高标准。
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