二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #293620672 待售
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ID: 293620672
晶圆大小: 12"
优质的: 2003
Deposition furnace, 12"
Process: SiN
Option: N28
Hard Disk Drive (HDD)
(2) Load ports
Chamber
RCU
N2 Box
Power box
Refill system
BTBAS
Gas detector box
Floor box
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula是为精确、高效、可靠的半导体晶圆加工而设计的高度先进的蚀刻/asher设备。其创新技术被广泛应用，从制造微电子器件到研发新型材料。在其核心，TEL公式系统由两个核心组件组成。首先是集成扫描微处理器（ISMP），负责控制整个单元，提供基板处理数据和反馈。二是等离子体基蚀刻室（PEC），它容纳了与加工半导体晶圆有关的蚀刻和其他工艺。TOKYO ELECTRON FORMULA内的PEC能够进行高精度的蚀刻工艺，实现高质量的晶圆图样，具有高精度和重复性。该机器能够蚀刻各种材料，包括金属、电介质，甚至氮化的氙（GaN）。PEC还拥有自己的集成冷却工具，可确保精确的蚀刻温度以及自己的废物清除资产。公式的ISMP使用户能够完全控制蚀刻过程，允许对各种材料进行精确和可重复的蚀刻结果。通过利用ISMP的高级软件算法，模型能够制定蚀刻策略，并监控每个蚀刻步骤的进度。这确保了用户能够精确控制每个蚀刻过程并产生最高质量的晶圆图样。TEL/TOKYO ELECTRON Formula凭借其集成的质量管理设备（iQM），非常准确可靠。该系统执行过程中的质量管理,有助于确保一致满足所需的性能标准。此外,该设备还具有各种安全级别,确保安全地获取、存储和处理所有质量数据。总之，TEL Formula是为精密、高效、可靠的半导体晶圆加工而设计的先进蚀刻和灰化机。其创新技术，加上先进的质量管理能力，使其成为各种应用的理想选择，也是半导体晶片高度细化和精确制图的理想之选。
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