二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #293622691 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Formula
ID: 293622691
Furnaces.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula是一种蚀刻器/asher,一种通过与化学蒸气或等离子体反应从工件表面蚀刻材料的装置。该工艺用于半导体生产、PCB制造等行业。顾名思义,该设备由半导体和PCB生产设备的领先供应商TEL制造和销售。TEL Formula是一种高级蚀刻器/灰化器,依靠化学气相沉积(CVD)和等离子体蚀刻技术的组合,产生高质量的蚀刻结果。TOKYO ELECTRON Formula使用CVD工艺在工件上创建氧化物遮罩层。然后对此蒙版进行阵列化以创建特定的蚀刻阵列。一旦阵列化,设备将启动等离子体蚀刻过程以完成工件的蚀刻。配方采用先进的气体注入、输送和控制技术系统,确保整个蚀刻室的气体分布均匀。这样可以为每个循环提供一致的蚀刻配置文件。该设备还具有一个具有广泛动态范围的温度控制系统,以确保蚀刻过程从一个应用程序到下一个应用程序都是可靠一致的。此外,TEL/TOKYO ELECTRON Formula包含一个原位压力控制功能,使得每种独特的材料类型都能有精确的蚀刻条件。TEL公式还提供了无与伦比的过程自动化程度。这包括一个自动化的CVD掩模层传感系统,以确保完美的氧化层配准和配方驱动的界面,以简化蚀刻工艺设置。该设备可以与主机结合使用,也可以通过TOKYO ELECTRON Net I/O直接控制,允许用户自定义自己的蚀刻参数以达到最佳效果。总体而言,TOKYO ELECTRON Formula为各种生产工艺提供了强大可靠的蚀刻解决方桉。其集成的CVD和等离子体蚀刻系统允许精确蚀刻控制,而其自动化控制和配方驱动界面简化了整体操作。因此,Formula是各种工业应用的理想蚀刻器/asher。
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