二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9195346 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula是一种蚀刻器（通称为asher），可用于蚀刻或凋刻半导体图样等材料。它采用激光、紫外线和化学蚀刻技术相结合。该装置使用电子枪的精确粒子束来创建所需的蚀刻图样。这种光束是由一个小孔径发出的，其模式由电极的电压决定。TEL配方蚀刻工艺依赖于包括激光、蚀刻剂和清洁溶液在内的多种不同元素。激光用于创建初始模式，然后在测试结构上进行测试和修改。然后使用蚀刻溶液和气体来塑造图样，以及在蚀刻完成后清洁基板。该装置有一个固定臂，该臂将晶圆或其他基材固定在适当的位置进行蚀刻。专门的持有者可以用于各种基材。手臂根据操作员的输入设置在特定位置。手臂可以针对不同的底物作进一步的调整。TOKYO ELECTRON Formula Etcher还设有一个自动进纸器，可一次进给多达4个晶圆。该系统可确保设备高效工作并加快蚀刻过程。蚀刻工艺干净高效，非常适合蚀刻细腻的基材。配方蚀刻器还有几项安全措施可以防止事故和暴露。板载过滤器有助于避免在蚀刻过程中空气中的颗粒，并且提供了一个HEPA过滤器用于蚀刻后的清除。该装置还由耐高温和其他危险气体的材料制成。TEL/TOKYO ELECTRON Formula具有正负蚀刻能力，可用于产生大小和复杂度各异的图样。该设备具有精确和可重复的精度，并具有用户友好的界面。这是一个理想的选择，对于那些希望蚀刻精致的材料和创造半导体模式。