二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9211539 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Formula是为半导体器件处理而设计的高速蚀刻设备。利用独特的多向蚀刻工艺，达到最大效率和精度。该系统配备精密的三维控制，为每个应用提供最佳蚀刻特性。TEL配方还设计用于支持多种工艺技术，包括干法和等离子体蚀刻。干蚀刻工艺将挥发性梁类型与先进的气体溷合物输送装置结合在一起。这种组合为薄膜沉积提供了较高的蚀刻速度和均匀性。等离子体蚀刻工艺将超高密度等离子体与高分辨率等离子体结构相结合，提高了蚀刻生产率。TOKYO ELECTRON Formula还具有高密度超音速蒸汽射流（SVJ），用于提高蚀刻效率和等离子体选择性。与传统的蚀刻工艺相比，SVJ有助于产生更高的蚀刻速率和更低的蚀刻成本。此外，机器还配备了射频电源工具和各种传感器，以确保精确的过程控制。此外，Formula被设计为通过允许用户根据应用选择最佳蚀刻参数来优化蚀刻过程。例如,用户可以调整气流、蚀刻速度、蚀刻深度、沟槽大小和气体脉冲宽度。此高级定制功能可确保用户以最高的蚀刻速率生产出质量最高的设备。TEL/TOKYO ELECTRON Formula是一种独特的半导体器件处理蚀刻溶液。它结合了高级控制和定制功能,可实现更快的蚀刻速度、更高的精度和卓越的生产效率。它易于设置和操作，因此即使那些蚀刻经验有限的人也可以很容易地从资产中获得最大的收益。
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