二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9250261 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Formula
ID: 9250261
晶圆大小: 12"
Nitride furnace, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Formula Etcher/asher是一种最先进的半导体制造设备,用于去除和沉积材料薄膜以产生错综复杂的图桉。它是高效的,允许在各种类型的基板上对图样进行坚固而精确的蚀刻。蚀刻器使用高度先进的蚀刻工艺,利用化学和物理技术相结合。术语蚀刻用来描述在基材中创建图样的过程。TEL Formula 蚀刻器/asher首先利用自旋涂层技术将材料的薄膜沉积,然后将其蚀刻到基材中。此后,蚀刻器利用反应性离子蚀刻能力,施加电磁场导致电离粒子轰击基板。这样可以创建一个具有地形的基板,从而可以精确地蚀刻到材料中。之后,通过有选择地在基板上蒸发或溅射一层薄薄的材料来创建蚀刻面膜。这一层材料充当蚀刻的屏障,只允许某些区域被蚀刻掉,而在其他区域保持完整。除蚀刻工艺外,TOKYO ELECTRON Formula 蚀刻器/asher还包含一个分选系统。该系统利用光电阻传感器来检查基板表面并确定应在何处进行蚀刻。这不仅有助于确保精确度和精确度,而且还有助于确保速度和最低限度的材料使用。配方蚀刻器是一种高效、复杂的半导体制造设备.该机采用先进的蚀刻工艺,结合分选系统和光电阻传感器,创建了一种精密的材料去除方法。通过高效、精确的蚀刻,TEL/TOKYO ELECTRON Formula 蚀刻器/asher为半导体制造提供了可靠、经济的解决方桉。
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